根据工作原理的不同,三丰轮廓仪可分为接触式轮廓仪(触针式)和三维光学表面轮廓仪(白光干涉仪)。三维光学表面轮廓仪不同于接触式轮廓仪和三维光学表面轮廓仪,因为它们的功能不同。
接触式三丰轮廓仪,主要是来测工件测长宽高尺寸、角度、直径、半径等参数,还可以进行一些形位公差的评定,精度都是微米级别的。 还有一些轮廓仪是把轮廓测量功能和粗糙度测量功能集成在一起,一次性即可测量出轮廓尺寸和粗糙度参数,所以接触式轮廓仪主要用于零件轮廓尺寸测量,比如汽配行业、轴承行业、五金工具、机械加工、紧固件行业、轴承行业、模具行业等等。
光学3D表面三丰轮廓仪也叫白光干涉仪,主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳级别的。光学3D表面轮廓仪主要在半导体晶圆加工、3C行业的盖板、光学元器件、超精密加工以及各高等院校实验室。
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