| 项 目 | SURFCOM CREST | |
| 测量范围 | Z轴（纵向） | 13 mm/50 mm 测臂、 26 mm/100 mm 测臂 |
| X 轴（横向） | 200 mm | |
| 行程 | 立柱 | 500 mm |
| 精度 | Z 轴指示精度（纵向） | ±0.2+IHI/1000 μm （H ：测量高度 mm） |
| 测量分辨率 | 0.31 nm/50 mm 测臂 | |
| X 轴指示精度（横向） | ±0.2+L/1000 μm （L ：测量长度 mm） | |
| 测量分辨率 | 0.54 nm | |
| 直线度精度 ※1 | 0.05+3 L/10000 μm （L ：测量长度 mm） | |
| 系统精度 ※1 | 系统噪音 ※2 |
Ra ≦ 2 nm / 0.4 mm Rz ≦ 10 nm /0.4 mm |
| 球头形状误差 ※3 | Pt ≦ 0.1 μm （φ30 mm以下） | |
| 半径测量的最大允许误差 ※4 | ≦± 1.0 μm （φ30 mm以下） | |
| 长度测量的最大允许误差 ※5 | ≦± (1+L/150) μm （L ：测量长度 mm） | |
| 角度测量的最大允许误差 ※6 | ≦± 0.5 min （±45度倾斜） | |
| 感应方式 | Z 轴（纵向） | 高稳定倍光路型激光干涉测长传感器 |
| X 轴（横向） | 衍射光栅尺 | |
| 速度 | 立柱上下速度（Z 轴） | 〜 200 mm/s |
| 驱动部 测量速度（X 轴） | 0.03 mm/s 〜 3 mm/s （粗糙度测量时）、0.03 mm/s 〜 20 mm/s （ 轮廓测量时） | |
| 驱动部 移动速度（X 轴） | 0.02 mm/s 〜 60 mm/s | |
| 驱动部倾斜 ±45° | （T型号） | |
| 传感器 | 测针 | 交换式 |
| 测量力 | 0.75 mN | |
| 测针半径 | 2 μmR 标准配件（ 50 mm 测臂） | |
| 测针材质 | 金刚石 | |
| 功能 | 收缩功能 | |
| 参数 | 电源 电压、频率 | 单相AC100 〜 240 V ±10 %、 50/60 Hz |
| 气源 | 供给压力0.45 〜 0.7MPa、使用压力 0.4 MPa、消耗量8 L/mm（最大） | |
| 外形尺寸（W x D x H） | 1405 mm×1050 mm×1851 mm | |
| 质量 | 700 kg | |
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※1 ：标配测针DM84145 使用时 ※2 ：0.03 mm/s, 高斯滤波:λc=0.08 mm,λs=2.5 μm ※3 ：±45 度开口角, 0.3 mm/s, 最小二乘圆计算,高斯滤波 ：λs=0.08 mm ※4 ：±45 度开口角, 0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性 ※5 ：0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性 ※6 ：单侧斜面的分析长度5 mm 以上, 0.3 mm/s, 包含标准器的不确定性 |
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