| 型号 | CONTOURECORD 2600D/1600D | ||||||||||
| -11 | -12 | -13 | -14 | -15 | -16 | -17 | -18 | ||||
| 测量范围 | Z 轴（纵向） | 50 mm | |||||||||
| X 轴（横向） | 100 mm | 200 mm | |||||||||
| 精度 | C1600G系列 | Ｚ轴指示精度（纵向） | ±0.25%（全量程）；±4μm（在±2.5mm量程范围内 | ||||||||
| 测量分辨率 | 0.1μｍ/5 mm量程 、0.4μｍ/20 mm量程、1μｍ/50 mm量程 | ||||||||||
| C2600G系列 | Ｚ轴指示精度（纵向） | ±（0.8 + |4H|/100）μm （H ：测量高度 mm） | |||||||||
| 测量分辨率 | 0.025 μm | ||||||||||
| 共通 | Ｘ轴指示精度（横向） | ±（1 + 2L/100）μm （L ：测量长度 mm） | |||||||||
| 驱动部 | 分辨率 | 0.04 μm | |||||||||
| 直线度精度 | 1 μm/100 mm | 2 μm/200 mm | |||||||||
| 感应方式 | 莫尔光栅尺 | 线性光栅尺 | |||||||||
| 测量速度 | 0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6 mm/s （8速） | ||||||||||
| 立柱上下动速度（Ｚ轴 | — |
10 mm/s （3 mm/s） ＊1 |
— |
10 mm/s （3 mm/s） ＊1 |
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| 传感器 | 感应方式 | C1600G系列 | 差动变压器 | ||||||||
| C2600G系列 | 激光光栅尺 | ||||||||||
| 测针、测量力、功能 | 更换式、10mN 〜 30mN、无级（带收缩功能） | ||||||||||
| 测针半径（测针材质 | 25μmR（圆锥超硬合金）2个 标准配置 | ||||||||||
| 测量方向、姿勢 | 拉推方向、上下方向、最大追踪角度 ：77° | ||||||||||
| 运行范围 | 驱动部行程 | 100 mm | 200 mm | ||||||||
| 立柱上下移动行程 | 250 mm | 450 mm | 250 mm | 450 mm | |||||||
| 石平台参数 | 尺寸 | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | 600 x 317 mm | 1000 x 450 mm | ||||||
| 容许承载质量 | 使用台式除振台（E-VS-S57B/S58B）时 | 41 kg | 35kg | 26kg | - | 35kg | 29kg | 20kg | - | ||
| 使用台式大型除振台(E-VS-S45A)时 | 50kg | 40kg | 30kg | 91kg | 50kg | 40kg | 30kg | 85kg | |||
| 使用除振台（E-VS-R16D）时 | 50kg | 40kg | 30kg | 41kg | 50kg | 40kg | 30kg | 35kg | |||
| 使用除振台（E-VS-R21B）时 | 50kg | 40kg | 30kg | 100kg | 50kg | 40kg | 30kg | 100kg | |||
| 参数 | 设置尺寸* 2 | 宽度 | 2000 mm | 2300 mm | 2000 mm | 2300 mm | |||||
| 深度 | 1000 mm | 1000 mm | |||||||||
| 高度 | 1700 mm | 1900 mm | 1700 mm | 1900 mm | |||||||
| 重量 | 115kg | 125kg | 130kg | 235kg | 125kg | 130kg | 140kg | 245kg | |||
| 电源、消耗功率 | 单相AC220V ± 10%（需接地）、电源频率50Hz、710VA | ||||||||||
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*1 ： J/S操作时 *2 ： -11、-12、-13、-21、-22、-23是包括属于选配的架台(E-VS-S13A)和台式除振台(E-VS-S57B)及电脑台(E-DK-S24A)在内的概算尺寸。 -14、-24是包括属于选配的大型除振台(E-VS-R16D )及电脑台(E-DK-S24A)在内的概算尺寸。 |
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