测量部
| 型号 | SURFCOM NEX 030 | ||||||||||
| 12 | 13 | 14 | 15 | 22 | 23 | 24 | 25 | ||||
| 驱动部 | X周（L：测量长度mm） | 感应方式 | 线性光栅尺 | ||||||||
| 直线度精度 | 搭载双模式传感器的很合传感器时（μm） | (0.05+1.0L/1000)标准测臂时 | |||||||||
| 轮廓测量用高精度传感器使用时（μm/mm） | 1.0/100 | 2.0/200 | |||||||||
| 轮廓测量通用传感器使用时（μm/mm） | 1.0/100 | 2.0/200 | |||||||||
| 粗糙度传感器时（μm） | （0.05+1.0L/1000） | ||||||||||
| X轴指示精度（μm）：横向 | ±（1.0+1.0L/100）*100mm驱动部轮廓测量时 | ||||||||||
| 分辨率（μm） | 0.016 | ||||||||||
| 速度 | 移动时 | 0.03-60 | |||||||||
| 测量时 | 0.03-20 | ||||||||||
| 倾斜角度（°） | 搭载双模式传感器的混合传感器时 | ±10（倾斜装置选配件） | |||||||||
| 上记以外 | ±15（倾斜装置选配件） | ||||||||||
| 测量台 | 立柱 | 速度（mm/s） | 移动时 | Max.10 | |||||||
| 底座 | 材质 | 辉长岩 | |||||||||
传感器
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轮廓测量用高精度传感器 （E-DT-CH18A） |
测量范围 | Z轴（mm） 纵向 | 60 | |
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轮廓测量 （H：侧量高度mm） |
感应方式 | 高精度光栅尺 | ||
| 测量范围（mm） | 60.0 | |||
| 测量分辨率（μm） | 0.04（全量程） | |||
| 指示精度（μm）纵向 | ±（1.8+丨2H丨/100） | |||
| 功能 | 上下测量/碰撞感应安全机构/缩回功能 | |||
| 测针 | 轮廓用 | 型号 | DM45505 | |
| 交换方式 | 交换式 | |||
| 测量力（mN） | 10-30(手动调整) | |||
| 测针材质 | 超硬合金 | |||
| 测针形状 | 25μm/24 圆锥 | |||
| 电源 | 电压(V)、周波数（Hz） | 单项 AC100-240/50/60 | ||
| 消耗功率（VA） | Max.670 | |||
| 空气源(除振台) | 供给压力（Mpa） | 0.45-0.7 | ||
| 使用压力（Mpa） | 0.4 | |||
| 空气消费量（L/min） | 0.1(Max.10) | |||
| 供给位置 | 本体背面 | |||
| 空气源转接口 | 外径6mm的管接头 | |||
| 设置 使用环境 | 温度 | 精度保证温度（℃） | 20±5（温度变化率±0.5℃/1 时间以内、0.1℃/1 测量时间以内） | |
| 动作保证温度（℃） | 10-30 | |||
| 保管温度（℃） | 5-40 | |||
| 湿度 | 动作保证湿度（%） | 40-80(不结露) | ||
| 动作保证湿度（%） | 80以下(不结露) | |||
