QV Apex
型号 | QV Apex 302 |
QV Apex 404 |
QV Apex 606 |
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类型 | 标准 |
标准 |
标准 |
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测量范围(XxYxZ) |
300x200x200mm |
400x400x250mm | 600x650x250mm | |
观察装置 | 可编程电动转台 1X-2X-6X | |||
影像装置 | 黑白CCD (1/2型)或彩色3CCD (1/3型)可选 | |||
测量精度 | E1x,E1y | (1.5+3L/1000)μm | ||
E1z | (1.5+4L/1000)μm | |||
Ezxy | (2.0+4L/1000)μm |
Hyper QV
型号 | Hyper QV 302 |
Hyper QV 404 |
Hyper QV 606 |
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类型 | 标准 |
标准 |
标准 |
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影像装置 | 黑白CCD (1/2型) | |||
测量精度 | E1x,E1y | (0.8+2L/1000)μm | ||
E1z | (1.5+2L/1000)μm | |||
Ezxy | (1.4+3L/1000)μm |