规格
型号 | QA-Active 202 | ||
类型 | 标准 | ||
测量范围(XxYxZ) |
250x200x150mm |
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倍率装置 | 可编程电动转台 1X -2X -6X | ||
影像装置 | 黑白CCD (1/2型) | ||
测量精度 | X-Y轴 | (0.25+L/1000)μm | |
Z轴全行程 | (1.5+2L/1000)μm(范围200mm) | ||
Z轴50mm行程 | (1.0+2L/1000)μm(范围10-60mm) | ||
XY平面 | (0.5+2L/1000)μm |