| 型号 | O-DETECT 5/4/3 （固定桥式） | |||
| 测量范围（mm³） | 500x400x300 | |||
| 视场（mm³） | 8.4x7.0 | |||
| 操作模式 | 机动/自动 | |||
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侧头系统基座 |
固定式安装 | |||
| 侧头 | 侧头 ZEISS INVENTA D1（光学式） | |||
| 移动速度 | 机动 |
单位：（mm/s） |
轴 | 0至100 |
| 自动（mm/s） | X,Y,Z-轴 | 300/300/100 | ||
| 空间 | 435 | |||
| 加速度 |
单位：（mm/s） |
X,Y,Z-轴 | 500/500/500 | |
| 空间 | 866 | |||
