| Hyper QV WLI 302 | Hyper QV WLI 404 | Hyper QV WLI 606 | ||
| 测量范围 ( X × Y × Z ) | 影像测量区域 | 300 × 200 × 190 mm | 400 × 400 × 240mm | 600 × 650 × 220mm |
| WLI 测量区域 * 1 | 215 × 200 × 190 mm | 315 × 400 × 240mm | 515 × 650 × 220mm | |
| WLI 光学测头装置 | ||||
| 视场 ( H × V ) | 10X 镜头 : 约 0.32 × 0.24mm / 25X 镜头 : 约 0.13 × 0.10mm | |||
| 重复精度 | 2 σ ≤ 0.08µm | |||
| Z 轴扫描范围 * 2 | 170µm | |||
| 影像光学测头装置 | ||||
| 放大倍率转换系统 | PPT1X-2X-6X | |||
| 影像测量方法 | 黑白 CCD 照相机 | |||
| 照明装置 | 同轴照明 | 白色 LED | ||
| 透射照明 | 白色 LED | |||
| 程控环形照明 | 白色 LED | |||
| 测量精度 | E 1X , E 1Y | ( 0.8+2L/1000 ) µm | ||
| E 1Z | ( 1.5+2L/1000 ) µm | |||
| E 2XY | ( 1.4+3L/1000 ) µm | |||
| 主装置 | ||||
| 分辨力 | 0.01µm | |||
| 台面最大承重 | 15kg | 25kg | 35kg | |
| 导向系统 | 直动式硬轴承 | |||
| 尺寸 ( W × D × H ) | 859 × 950 × 1606 mm | 1027 × 1407 × 1781 mm | 1309 × 1985 × 1792 mm | |
| 重量 ( 包括防振台架 ) | 约 490kg | 约 1160kg | 约 2275kg | |
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*1: WLI 头可移动， WLI 3D 形状测量范围为 1 视场。 *2: 标准型。通过改变扫描间距最大 200µm 。 |
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