| 型号 | FTA-S4C3000 | FTA-H4C3000 | FTA-W4C3000 | FTA-L4C3000 | FTA-S8C3000 | FTA-H8C3000 | FTA-W8C3000 | FTA-L8C3000 | ||
| FTA-S4C4000 | FTA-H4C4000 | FTA-W4C4000 | FTA-L4C4000 | FTA-S8C4000 | FTA-H8C4000 | FTA-W8C4000 | FTA-L8C4000 | |||
| Z1轴（检出器） | 测量范围 | 60mm（从水平状态起±30mm） | ||||||||
| 测长单元 | 圆弧栅尺 | |||||||||
| 分辨力 | C3000:0.04μm C4000:0.02μm | |||||||||
| 直线度（X轴水平姿势时） | 0.8μm/100mm | 2μm/200mm | ||||||||
| 指示精度（20℃） | C3000 | X轴 |
±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8 μm/100mm 窄范围：1.05 μm/25mm |
±（0.8+0.051L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：3.8 μm/200mm 窄范围：1.2 μm/25mm |
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| Z1轴（检出器） | ±（0.8+丨2H丨/100）μm H=从水平位置开始的测量高度（mm） | |||||||||
| C4000 | X轴 |
±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8 μm/100mm 窄范围：1.05 μm/25mm |
±（0.8+0.051L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：3.8 μm/200mm 窄范围：1.2 μm/25mm |
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| Z1轴（检出器） | ±（0.8+丨2H丨/100）μm H=从水平位置开始的测量高度（mm） | |||||||||
| X轴（驱动器）测量范围 | 100mm | 200mm | ||||||||
| Z轴（立柱）移动范围 | 300mm | 500mm | 700mm | 300mm | 500mm | 700mm | ||||
| 底座材质 | 花岗岩 | |||||||||
