测量部
| 项目 | 型号 SURFCOM NEXDX2/SD2 | |||||||||||
| 12 | 13 | 14 | 15 | 22 | 23 | 24 | 25 | |||||
| 驱动部 | X周（L：测量长度mm） | 感应方式 | 线性光栅尺 | |||||||||
| 真直度精度 | 双模传感器使用时（μm） | (0.05+1.0L/1000)（L：测量长度mm）LH=50mm 测针使用时 | ||||||||||
| 2(0.05+1.0L/1000)（L：测量长度mm）LH=100mm 测针使用时 | ||||||||||||
| 轮廓测量用高精度传感器使用时（μm/mm） | 0.8/100 | 2.0/200 | ||||||||||
| 轮廓测量通用传感器使用时（μm/mm） | 0.8/100 | 2.0/200 | ||||||||||
| 粗糙度测量用传感器使用时（μm） | （0.05+1.0L/1000） | |||||||||||
| X轴指示精度（μm）：横向 | ±(0.8+1.0L/1000)（L：测量长度mm）LH=100mm 轮廓测量时 | |||||||||||
| ±(0.8+1.0L/1000)（L：测量长度mm）LH=100mm 轮廓测量时 | ||||||||||||
| 分辨率（μm） | 0.016 | |||||||||||
| 速度 | 移动时 | 0.03-100 | ||||||||||
| 测量时 | 0.03-30 | |||||||||||
| 倾斜角度（°） | ±15（倾斜装置选配件） | |||||||||||
| 测量台 | 立柱 | 速度（mm/s） | 移动时 | CNC时 | Max.50 | |||||||
| J/S操作时 | Max.35 | |||||||||||
| 底座 | 材质 | 辉长岩 | ||||||||||
传感器
| 轮廓测量用通过传感器 | 测量范围 | Z轴（mm） 纵向 | 60 | |
| 轮廓测量 | 感应方式 | 高精度光栅尺 | ||
| 测量分辨率 （μm） | 0.02全量程 | |||
| 指示精度（μm）：纵向 | ±（0.8+2H/100）（H：测量高 mm） | |||
| 测针 | 轮廓用 | 形式 | DM45505 | |
| 测力 mN | 2-30 软件调整 | |||
| 测针材质 | 超硬合金 | |||
| 测针形状 | 25μmR/24° 圆锥 | |||
| 功能 | 上下测量/碰撞感应安全机构、缩回功能 | |||
其它
| 电源 | 电压(V)、周波数（Hz） | 单项 AC100-240/50/60 | ||
| 消耗功率（VA） | Max.930 | |||
| 空气源(除振台) | 供给压力（Mpa） | 0.45-0.7 | ||
| 使用压力（Mpa） | 0.4 | |||
| 空气消费量（L/min） | 0.1(Max.10) | |||
| 供给位置 | DX2型号：本体左下部 SD2型号：本体背面 | |||
| 空气源转接口 | 外径6mm的管接头 | |||
| 设置 使用环境 | 温度 | 精度保证温度（℃） | 20±5（温度变化率±0.5℃/1 时间以内、0.1℃/1 测量时间以内） | |
| 动作保证温度（℃） | 15-30 | |||
| 保管温度（℃） | 5-40 | |||
| 湿度 | 动作保证湿度（%） | 40-80(不结露) | ||
| 动作保证湿度（%） | 80以下(不结露) | |||
