型号 | 蔡司 EVO 10 | 蔡司 EVO 15 | 蔡司 EVO 25 | |
分辨率 | 2 nm,3 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6,W | |||
6 nm,8 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6,W | ||||
9 nm,20 nm @ 30 kV SE 配有 LaB6,W | ||||
放大倍率 | <7–1,000,000× | <5–1,000,000× | <5–1,000,000× | |
样品室规格(直径X高度) | 310mmX220mm | 365mmX275mm | 420mmX330mm | |
样品最大高度 | 100mm | 145mm | 210mm | |
图像处理 | 32,000 × 24,000 像素;通过积分平均值法采集信号(扫描速度 2 或以上) |