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| 货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 | |
| 测量范围 | X轴 | 100mm | 100mm | ||||
| Z1轴(检出器) | 60mm（水平位置±30mm） | ||||||
| Z2轴（立柱）移动范围 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm | |||
| 精度20℃ | X轴 |
±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：1.8μm/100mm 窄范围：1.05μm/25mm |
±（0.8+0.02L）μm L=驱动长度（mm） 宽范围：4.8μm/200mm 窄范围：1.3μm/25mm |
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| Z1轴（检出器） | ±（1.6+丨2H丨/100）μm H=水平位置上的测量高度（mm） | ||||||
| 驱动部 | X轴 | 激光全息光栅尺 | |||||
| Z2轴（立柱） | 1μm | ||||||
